第1623章 突破阿贝极限(1/2)
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“常院士，这是…？”栾文杰环顾四周，有些不解。
相比旁边关乎国家半导体命脉的光刻机测试，这里的设备显得过于“普通”了。
“一项纯光学的…原理性验证实验。”常浩南言简意赅，目光落在栗亚波身上，“我们准备了快半年，最近才真正具备了测试条件。”
“纯光学？验证什么？”栾文杰心中的疑惑更甚。
“很快您就知道了。”常浩南依旧卖了个关子，示意栾文杰耐心观看，目光也投向了栗亚波的操作。
只见栗亚波最后确认了一下所有光学元件的共轴性，然后极其小心地将一块巴掌大小、表面布满极其细微黑白条纹的金属板插入一个特制的靶标架中，并微调了一下位置和角度。
接着走到控制电脑前，手指在键盘上快速敲击了几下。
一声轻微的启动声，位于平台一端的光源被点亮。
霎时，一束鲜艳夺目的红色激光束激射而出，经过扩束准直后变成一道直径大约几个毫米的平行红光，射入中间黑色的遮光罩内。
而当光线从另一端射出时，已经略带上了一丝难以察觉的模糊感。
最终，这束光线投射在数米开外的精密成像屏上，形成一个边界柔和的光斑。
“红光？”栾文杰有些惊愕地低呼出声，“还是可见光？”
在他的认知里，要突破极限，理应使用波长更短的紫外光甚至极紫外光才对。
常浩南似乎早料到他有此一问，平静地解释道：
“我们要测试的，是一个理论上‘不可能’被传统透镜实现的结果…如果使用波长太短的光，那么…对测试系统本身的精度和噪声要求会很高，甚至大概率无法测出有效结果。”
他这边话音刚落，一直紧盯电脑屏幕的栗亚波已经抬起头：
“找到了。”
从他的脸上看不出太多情绪，但声音有些发颤：
“成像清晰！我找到靶标的成像结果了！”
“快！”
常浩南立刻上前几步，接替栗亚波坐到了显示器前面。
栾文杰也按捺不住好奇，迅速凑到旁边。
屏幕上显示的并非什么复杂的电路，而是一系列明暗相间、等宽等距的竖条纹图案。
条纹边缘锐利，对比度极高。
他快速搜索了一下脑海中的知识，并没有想起来符合当前场景的答案。
但看着面前师生二人的这副架势，已经能冥冥中感觉到，眼前这东西恐怕不太寻常。
好在，常浩南并没有让对方的疑惑持续太久。
“这是分辨率测试靶标的一部分。”他指着屏幕上的竖条纹解释道，“根据光学成像的瑞利判据，使用波长λ632.8n可见红光时，一个传统透镜的理论分辨率极限δ大约是0.61λ/NA…换算到我们这个系统里，大概是在316n右。”
他指着屏幕上最清晰的那组条纹旁边标注的一组编号：
“您看这里，第10组第5元素，它对应的线对宽度是308n也就是说，对于一块正常意义上的透镜而言，在632.8n长下不应该看清楚靶标上第10组第5元素以下的图案。”
常浩南说到这里，刻意停顿了一下：
“但是…”
他没有继续说下去，而是移动鼠标，在屏幕上快速搜索着。
很快，光标停留在屏幕靠左侧的一个区域。那里清晰地呈现出一个由三条竖直亮线组成的图案，亮线之间是等宽的黑线。
这个图案在屏幕上的标注正是“Group10，Elent5”！
“嗯？”
栾文杰失声惊呼，身体不由自主地前倾，几乎要贴到屏幕上。
瑞利判据是物理学基础，他刚才已经听明白了这个测试的意思。
308n已经超过，至少是贴近了632.8n长所对应的分辨率极限然而，眼前的三条亮线是如此清晰锐利，边缘平滑，没有一丝一毫的模糊或弥散感。
根本不像是在逼近理论极限，反而像是在分辨一个远大于极限的物体！
常浩南脸上依旧保持着那种掌控一切的平静，没有立刻解答栾文杰的震惊。
他只是再次移动鼠标，控制着屏幕上的成像区域向下移动。
画面切换来到了标注为“Group10，Elent6”的区域。
这里的线条图案更加细密。
然而，图形中的三条亮线依旧清晰可辨。
其锐利程度与95相比，几乎没有肉眼可见的衰减！
“10组6元素，对应分辨率274n”
旁边的栗亚波适时报出数据。
栾文杰的双眼已经瞪得溜圆，彻底被眼前的景象所震撼。
刚才的结果或许还能用误差解释。
但这此，已经明确无误地突破了632.8n光下理论衍射极限。
这完全颠覆了光学常识！
常浩南依旧沉默着，手指稳健地操控鼠标。屏幕上的画面继续向下移动：
Group11，Elent1(对应分辨率约244n–清晰！
Group11，Elent2(约218n–清晰！
Group11，Elent3(约194n–清晰！
栾文杰的心跳随着每一次画面切换而加速，呼吸也变得急促起来。
每一次清晰成像的出现，都在无情地冲击和粉碎着百年光学理论的基石！
画
相比旁边关乎国家半导体命脉的光刻机测试，这里的设备显得过于“普通”了。
“一项纯光学的…原理性验证实验。”常浩南言简意赅，目光落在栗亚波身上，“我们准备了快半年，最近才真正具备了测试条件。”
“纯光学？验证什么？”栾文杰心中的疑惑更甚。
“很快您就知道了。”常浩南依旧卖了个关子，示意栾文杰耐心观看，目光也投向了栗亚波的操作。
只见栗亚波最后确认了一下所有光学元件的共轴性，然后极其小心地将一块巴掌大小、表面布满极其细微黑白条纹的金属板插入一个特制的靶标架中，并微调了一下位置和角度。
接着走到控制电脑前，手指在键盘上快速敲击了几下。
一声轻微的启动声，位于平台一端的光源被点亮。
霎时，一束鲜艳夺目的红色激光束激射而出，经过扩束准直后变成一道直径大约几个毫米的平行红光，射入中间黑色的遮光罩内。
而当光线从另一端射出时，已经略带上了一丝难以察觉的模糊感。
最终，这束光线投射在数米开外的精密成像屏上，形成一个边界柔和的光斑。
“红光？”栾文杰有些惊愕地低呼出声，“还是可见光？”
在他的认知里，要突破极限，理应使用波长更短的紫外光甚至极紫外光才对。
常浩南似乎早料到他有此一问，平静地解释道：
“我们要测试的，是一个理论上‘不可能’被传统透镜实现的结果…如果使用波长太短的光，那么…对测试系统本身的精度和噪声要求会很高，甚至大概率无法测出有效结果。”
他这边话音刚落，一直紧盯电脑屏幕的栗亚波已经抬起头：
“找到了。”
从他的脸上看不出太多情绪，但声音有些发颤：
“成像清晰！我找到靶标的成像结果了！”
“快！”
常浩南立刻上前几步，接替栗亚波坐到了显示器前面。
栾文杰也按捺不住好奇，迅速凑到旁边。
屏幕上显示的并非什么复杂的电路，而是一系列明暗相间、等宽等距的竖条纹图案。
条纹边缘锐利，对比度极高。
他快速搜索了一下脑海中的知识，并没有想起来符合当前场景的答案。
但看着面前师生二人的这副架势，已经能冥冥中感觉到，眼前这东西恐怕不太寻常。
好在，常浩南并没有让对方的疑惑持续太久。
“这是分辨率测试靶标的一部分。”他指着屏幕上的竖条纹解释道，“根据光学成像的瑞利判据，使用波长λ632.8n可见红光时，一个传统透镜的理论分辨率极限δ大约是0.61λ/NA…换算到我们这个系统里，大概是在316n右。”
他指着屏幕上最清晰的那组条纹旁边标注的一组编号：
“您看这里，第10组第5元素，它对应的线对宽度是308n也就是说，对于一块正常意义上的透镜而言，在632.8n长下不应该看清楚靶标上第10组第5元素以下的图案。”
常浩南说到这里，刻意停顿了一下：
“但是…”
他没有继续说下去，而是移动鼠标，在屏幕上快速搜索着。
很快，光标停留在屏幕靠左侧的一个区域。那里清晰地呈现出一个由三条竖直亮线组成的图案，亮线之间是等宽的黑线。
这个图案在屏幕上的标注正是“Group10，Elent5”！
“嗯？”
栾文杰失声惊呼，身体不由自主地前倾，几乎要贴到屏幕上。
瑞利判据是物理学基础，他刚才已经听明白了这个测试的意思。
308n已经超过，至少是贴近了632.8n长所对应的分辨率极限然而，眼前的三条亮线是如此清晰锐利，边缘平滑，没有一丝一毫的模糊或弥散感。
根本不像是在逼近理论极限，反而像是在分辨一个远大于极限的物体！
常浩南脸上依旧保持着那种掌控一切的平静，没有立刻解答栾文杰的震惊。
他只是再次移动鼠标，控制着屏幕上的成像区域向下移动。
画面切换来到了标注为“Group10，Elent6”的区域。
这里的线条图案更加细密。
然而，图形中的三条亮线依旧清晰可辨。
其锐利程度与95相比，几乎没有肉眼可见的衰减！
“10组6元素，对应分辨率274n”
旁边的栗亚波适时报出数据。
栾文杰的双眼已经瞪得溜圆，彻底被眼前的景象所震撼。
刚才的结果或许还能用误差解释。
但这此，已经明确无误地突破了632.8n光下理论衍射极限。
这完全颠覆了光学常识！
常浩南依旧沉默着，手指稳健地操控鼠标。屏幕上的画面继续向下移动：
Group11，Elent1(对应分辨率约244n–清晰！
Group11，Elent2(约218n–清晰！
Group11，Elent3(约194n–清晰！
栾文杰的心跳随着每一次画面切换而加速，呼吸也变得急促起来。
每一次清晰成像的出现，都在无情地冲击和粉碎着百年光学理论的基石！
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